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提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率......
为解决微小器件的高精度、高分辨率的测量问题，文章研制了一台基于蓝光DVD光学读取头的非接触式探头，实现了对微小尺寸的三维高精度......
文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分......
