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非晶溥膜相关论文
离子束混合AL—Mn非晶溥膜电性的原位测量
在200keV离子注入机的变温靶上交叠蒸镀多层Al-Mn薄膜,用Ar~+离子束在室温下轰击使其非晶化,原位测量薄膜样品的电阻率随离子剂量......
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离子束
非晶溥膜
原位测量
混合
ion beam mixing amorphous film 'in situ' measurement
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