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非晶硅缺陷相关论文
用光热偏转谱拟合计算研究非晶硅缺陷态及其稳定性
通过光热偏转谱(PDS)研究了衬底温度对用超高频辉光放电(VHF-GD)制备的a-Si:H光学特性的影响,考虑了电子在缺陷态的相关统计,数字拟合各样品在不同亚稳状......
期刊
非晶硅缺陷
光热偏转
稳定性
半导体薄膜技术
Defects in a-Si:H
Photothermal deflection spectroscopy
St
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