非硅表面微加工技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非硅表面微加工技术相关论文

MEMS惯性开关接触增强方法和抗过载机制研究

MEMS惯性开关可以同时实现传感和执行的功能,其工作原理是:当它感应到超过阈值的加速度时,可动电极(通常是悬空质量块)向固定电极......

学位

惯性开关接触增强抗过载性能同步跟随电极非硅表面微加工技术

电热驱动的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究

近年来,随着微机电系统技术的不断发展,微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统......

学位

微机电系统微继电器电热微驱动器双稳态机构双向运动模式永磁锁定机制多元材料兼容非硅表面微加工技术牺牲层技术

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