高密度等离子体源相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高密度等离子体源相关论文

应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展

本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源.对电子回旋共振等离子体(ECR),感应耦合等离子体(ICP),螺......

期刊

超大规模集成电路研究进展高密度等离子体源电子回旋共振感应耦合等离子体螺旋波等离子体生产工艺 High density plasma sources

等离子体束溅射镀膜机研制及工作机理研究

物理气相沉积技术目前主要有热蒸发、溅射、离子镀等方式。溅射技术的出现和应用已经经历了许多阶段,从二极溅射、三极溅射、磁控......

学位

等离子体束溅射镀膜高密度等离子体源偏压电场磁场

看过本文同时还关注