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该论文提出了一种新型的微型电磁悬浮直线电机，该电机由微磁体、硅微导轨和驱动线圈组成，硅微轨道由三层硅片构成，底层是直线悬浮驱动圈的衬底，顶层和中间层硅片利用体硅腐蚀工艺加工出长细槽；水平驱动线圈的顶层槽的两侧，线圈利用准ＬＩＧＡ制作。该微型电磁悬浮直线电机可用于微装配。
微型电磁悬浮直线电机
【摘 要】
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该论文提出了一种新型的微型电磁悬浮直线电机，该电机由微磁体、硅微导轨和驱动线圈组成，硅微轨道由三层硅片构成，底层是直线悬浮驱动圈的衬底，顶层和中间层硅片利用体硅腐蚀工艺
【机 构】
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大学精密仪器系
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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