体硅腐蚀相关论文
该论文提出了一种新型的微型电磁悬浮直线电机，该电机由微磁体、硅微导轨和驱动线圈组成，硅微轨道由三层硅片构成，底层是直线悬浮驱动......
该论文以研制用于WDM光通信系统的多层介质F-P腔结构光开关为目标,针对光开关的光学结构和力学结构设计进行了大量分析模拟,并对器......
针对X射线二极管平响应滤片的设计要求,采用电子束蒸发生长薄金层、紫外光曝光光刻、微电镀厚金层、体硅腐蚀制作镂空结构和等离子......
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实......
研究并实现了一种35μm宽三角形硅支撑梁X射线氮化硅膜窗口,通过对位于单晶硅片中央的氮化硅薄膜窗口进行测试,并获得了较好的性能......
报道了一种利用MEMS技术制作的微型直接甲醇燃料电池．其特点在于，利用KOH体硅腐蚀和双面光刻工艺制作了一种独特的三维自吸氧阴极结......
