基于石墨烯/氧化物纳米间隙结构的多态存储在低成本非挥发存储器方面的应用

来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vvf021
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碳基材料如石墨烯、碳纳米管、非晶碳,由于其独特的电学、力学、光学和其他新奇的物理特性,使其在未来纳米电子学器件领域可能有重要的应用前景.近几年,碳基材料被用来替代金属电极以开发高密度、高速度、低成本的RRAM器件.我们利用自制的远程电感耦合等离子体系统,首先在Si/SiO基底上低温直接生长纳米石墨烯薄膜,然后利用标准的微加工技术,将纳米石墨烯薄膜加工了两端器件.
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