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本文描述了采用平面工艺研制的基于Si多条的一维和两维位置灵敏探测器的结构、工作原理、制备工艺技术和性能测试结果以及在空间探测方面的应用前景.
平面工艺Si位置灵敏探测器的研制
【摘 要】
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本文描述了采用平面工艺研制的基于Si多条的一维和两维位置灵敏探测器的结构、工作原理、制备工艺技术和性能测试结果以及在空间探测方面的应用前景.
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 北京大学微电子所,北京,100871
【出 处】
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中国空间科学学会空间探测专业委员会第十九次学术会议
【发表日期】
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2006年7期
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