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本文对16英寸热场生产125—150毫米N—111重掺锑硅单晶生产过程研究,通过改进锑掺杂方式,热场温度分布和单晶生长参数包括氩气流量的自动控制,实现了125-150毫米重掺锑硅单晶产品质量改进和可观的产品收率。在连续生产中,16英寸5英寸N-1-1-1目标电阻率小于0.018欧姆/厘米合同产品大于62.2%;6英寸N-111重掺锑单晶电阻率小于0.18欧姆/厘米单晶合同收率火于56.8%.同时在电阻率梯度方面,1/2R和6毫米梯度分别小于14%和18.0%.小于客户要求的20%和26%.单晶锭实际分凝系数为0.6716.单晶和抛光片漩涡检测结果合格.无其它缺陷.满足了客户的要求。有关参数分布如下图