异质引晶在高效多晶硅铸锭中的应用

来源 :第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jizhe621

【摘要】

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采用球状二氧化硅颗粒作为籽晶生长多晶硅锭,并采用溶胶凝胶法在颗粒表面制备局部包覆的氮化硅涂层,以此来降低硅熔体对颗粒的溶蚀,降低硅锭中碳、氧等杂质浓度.结果显示采用

【作者】

：

董慧尹长浩黄新明王梓旭钟根香

【机构】

：

南京工业大学,南京 210009

【出处】

：

第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会

【发表日期】

：

2014年期

【关键词】

：

异质多晶硅锭铸锭二氧化硅颗粒球状氮化硅溶胶凝胶法籽晶生长

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采用球状二氧化硅颗粒作为籽晶生长多晶硅锭,并采用溶胶凝胶法在颗粒表面制备局部包覆的氮化硅涂层,以此来降低硅熔体对颗粒的溶蚀,降低硅锭中碳、氧等杂质浓度.结果显示采用氮化硅包覆的球状二氧化硅颗粒作为籽晶,可以长出均匀细长的柱状多晶硅,其中粒径在0.8～1.2mm之间的球状二氧化硅颗粒具有好的引晶效果.

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