康铜薄膜热流传感器的电子束物理气相沉积

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【摘要】

：

<正>为满足激波风洞试验的高频响和高精度要求,研制了一种新型的康铜薄膜整体式热电偶测热传感器,以双组元电子束物理气相沉积的方法制备了热电偶的康铜薄膜热接点层,并精确

【作者】

：

舒勇华吴松李进平樊菁

【机构】

：

中国科学院力学研究所高温气体动力学国家重点实验室;

【发表日期】

：

2004年期

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<正>为满足激波风洞试验的高频响和高精度要求,研制了一种新型的康铜薄膜整体式热电偶测热传感器,以双组元电子束物理气相沉积的方法制备了热电偶的康铜薄膜热接点层,并精确控制热接点层厚度。与传统的测热传感器相比,其空间分辨率更高,敏感元件的尺寸小至直径0.1 mm,可用于测量R0.5 mm的尖锥驻点热流。风洞试验

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