【摘 要】
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柱状压电晶片堆主要由压电陶瓷晶片、金属定位螺栓、铜电极片、引线组成。各压电晶片之间夹有薄铜片,并用环氧树脂同心叠堆粘接以形成圆柱状晶片堆。通过有限元法分析晶片堆
【机 构】
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北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室,北京 100101
【出 处】
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2010年全国半导体器件技术研讨会
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柱状压电晶片堆主要由压电陶瓷晶片、金属定位螺栓、铜电极片、引线组成。各压电晶片之间夹有薄铜片,并用环氧树脂同心叠堆粘接以形成圆柱状晶片堆。通过有限元法分析晶片堆的振动模态,利用ANSYS软件建立晶片堆的有限元模型,求解晶片堆的频率特性,分析了振动频率与结构尺寸之间的关系。用阻抗分析仪和激光扫描测振仪对晶片堆的实体进行了阻抗和振动位移的测试,样品谐振频率的实测结果与仿真结果吻合较好。
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