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该文介绍一种利用复合的三维微细的三维微细的三维微细加工技术－－ＬＩＧＡ技术研制金属微型渐开线齿轮的方法，并介绍生成金属微细结构的关键工艺－－微细电铸工艺研究。包括脉冲电铸与直流电铸铸层质量的比较，脉冲电铸过程中各电参数对铸层质量的影响，以及电流与铸层成长速度的关系等。
微型齿轮的LIGA技术微细电铸工艺研制
【摘 要】
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该文介绍一种利用复合的三维微细的三维微细的三维微细加工技术－－ＬＩＧＡ技术研制金属微型渐开线齿轮的方法，并介绍生成金属微细结构的关键工艺－－微细电铸工艺研究。包括脉冲电铸与直流电
【机 构】
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科技大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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中国齿轮制造研究会第四届学术学年会暨先进制造技术及齿轮学术会议
【发表日期】
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1997年期
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