【摘 要】
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采用多元等离子体浸没离子注入与沉积(MPⅢD)装置制备Ti-Al-Si-N涂层,借助X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)、纳米探针和原子力显微镜(AFM)等系统研究涂层界面微结构与力学性能.研究结果表明：Ti-Al-Si-N涂层具有Si3N4界面相包裹TiAlN纳米晶复合结构,Si元素掺杂诱发涂层发生明显晶粒细化效应.随涂层Si含量增加,TiAlN晶粒尺寸显
【机 构】
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辽宁科技大学,辽宁鞍山 114051;上海航天设备制造总厂,上海 200245 上海航天设备制造总
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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采用多元等离子体浸没离子注入与沉积(MPⅢD)装置制备Ti-Al-Si-N涂层,借助X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)、纳米探针和原子力显微镜(AFM)等系统研究涂层界面微结构与力学性能.研究结果表明：Ti-Al-Si-N涂层具有Si3N4界面相包裹TiAlN纳米晶复合结构,Si元素掺杂诱发涂层发生明显晶粒细化效应.随涂层Si含量增加,TiAlN晶粒尺寸显著降低,界面Si3N4层厚度增加.当Si3N4界面层厚度小于1nm并与TiAlN晶粒共格外延生长时,Ti-Al-Si-N涂层表现超高硬度约40GPa,当Si3N4界面相厚度增至2nm并呈非晶态存在时,涂层硬度降至约29GPa.
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针对齿轮箱中轴承故障信号往往夹杂齿轮啮合振动信号的问题,本文建立了一个齿轮箱仿真模型,此模型在前人建立的模型的基础上,充分考虑了齿轮啮合时重合度不同对齿轮啮合刚度的影响,并且引入单元谐振器模拟出现故障后轴承元件的高频固有振动,使用ode45微分求解器对轴承外圈进行动力学仿真分析,得出故障仿真信号,然后采用包络分析技术处理得到的信号.仿真结果验证了仿真模型的有效性和正确性.
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用脉冲偏压电弧离子镀技术在石英玻璃及单晶硅(111)基片上制备了均匀透明Cr-O薄膜.本文研究偏压幅值(0-500V)对薄膜表面形貌、相结构、硬度和光学性能等影响,利用扫描电镜(SEM)观察膜层表面形貌,X射线衍射仪(XRD)观测膜层相结构,X射线光电子能谱仪(XPS)观测膜层成分与相结构,纳米压痕仪测材料硬度与弹性模量,包络线法拟合材料光学参数.结果研究表明：随着脉冲偏压幅值的升高,薄膜表面粗糙
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