关于耐热不锈钢碟形弹簧的应力松弛的预防

来源 :第十一届全国弹簧学术会、第九届全国弹簧失效分析讨论会暨第五届海峡两岸弹簧专业研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxssdd55
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碟形弹簧作为一种特殊的弹簧种类,有着其他弹簧不可代替的优点.随着现代工业的发展,其应用领域也越来越广泛,对之要求也就越来越高.耐热不锈钢碟形弹簧就是其中之一.它要求碟形弹簧在高温工作环境下的弹力必须有保证.因为应用条件独特,所以应力松弛的预防就显得尤其重要.本文主要讨论了碟簧结构、制作工艺过程以及设计与使用中的问题三方面的内容。
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该文利用两步阳极化反应形成了不同微观结构的双层多孔硅层。并对多孔硅层进行了长时间的低温真空预处理。在这双层多孔硅上利用超高真空化学气相淀积低温外延获得了硅单晶外延层。对该外延层作了XRD,SEM和扩展电阻等测量,结果表明获得的P型外延硅单晶性好,和多孔硅的界面良好,硅处延层的电阻率在135Ω.CM左右。
分别采用聚酰亚胺和CVDSiO〈,2〉作层间介质,对2*2μm〈’2〉通孔的刻蚀和铝双层布线导通的成品率能达到100℅,介质对一次铝的覆盖完整率可达95℅以上,层间绝缘电压大于250V。
目前中照后的区熔单晶一般都在850°C进行热处理以消除辐照损伤并使〈’30〉Si嬗变形成的磷原子达到电激活,但一些3英寸的N〈111〉常规无旋涡原始区熔硅单晶在中照及850°C退火处理后其体内会现旋涡缺陷。该实验的研究表明,采用1100°C温度对中照后的碳含量符合国标要求的3英寸N〈111〉区熔硅单晶进行退火处理,晶体体内不会出现旋涡缺陷;同时,在晶体碳含量较低(小于3*10〈’16〉at/cm〈
用热丝化学汽相淀积法(HFCVD)在衬底温度为600°C时制备具有纳米晶体结构的碳化硅薄膜。用XPS、XRD、拉曼撒射和HRTEM等手段分析证明了薄膜样品的纳米晶体结构特征,光荧光测试表明这种材料在室温下具有较强的可见光发射,其光荧光谱的主峰能量接近2.2eV。
该文报道了对掺金(Au),掺铂(Pd)二极管的正向压降 ̄反恢时间兼容性的实验研究结果。观测到掺Pd二极管的V〈,FF〉 ̄t〈,rr〉兼容性较掺Au,Pt管更为良好,而按照Baliga建立的快恢复二极管特性的理论分析,掺Pd硅二极管的V〈,FF〉 ̄t〈,rr〉兼容性应最差。这一事实表明,具体的器件结构和工艺对V〈,FF〉 ̄t〈,rr〉特性有很重要的影响,对此进行了初步分析和讨论。
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硅是重要的半导体材料,在光电器件的制造中一直占有较大的比重。由于对热阻、串联电阻有特殊要求,其芯片的厚度需要限定在某一厚度范围内。该文通过实验对比研究,找出适合于背面金属化工序之前的超薄硅片化学机械抛光工艺。