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用溶胶-凝胶法制备不同成分的Pb(ZrxTi-x)O3铁电薄膜，并用广角X射线衍射法研究了薄膜的相组成及结晶织构类型.结果表明，在溶胶凝胶制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜的过程中，通过改变热分解温度，在(111)Pt／TiO2／SiO2／Si基底上成功得到带有不同强织构的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜，当热分解温度较低时，薄膜为(111)织构，而当热分解温度较高时，薄膜则表现为强烈的(100)取向;对于成分为Pb(Zr0.2Ti0.8)O3的薄膜来说，其晶格常数更接近与Pt衬底的晶格常数，因此Pb(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜受P1衬底高度(111)取向的影响也就更大，直接导致Pb(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜不能通过单纯的改变热分解来控制织构类型.