针对微槽结构抛光问题,对电化学抛光过程中的电场进行仿真,并结合阳极极化曲线进行分析,研究了阴极的移动及不同的阴极形状对电流密度分布及抛光效果的影响;并采用圆形电极进行了微槽抛光试验。结果表明:采用移动式电极抛光时,同一点的电流密度会经历先增大后减小的过程,该过程有利于抛光后钝化膜的形成;同等条件下,方形电极较圆形电极的电流密度大,抛光效率高;圆形电极的间隙形状更有利于产物排出,且材料去除量小于方形电极,抛光量更易控制;方形电极对定位精度要求较高,固定式方形电极绕中心轴的偏转会导致各处抛光量不同,破坏槽的形状精度;移动式方形电极绕中心轴的偏转会引起加工重复性较差的问题,但移动式圆形电极不存在这种缺陷;使用超短脉冲电源进行抛光时,方形电极由于等效电容大,所需充电时间长,应当采用更大的脉宽参数。使用直径为25μm的圆形电极,对钴基弹性合金3J21工件上的微槽进行抛光试验,槽表面粗糙度由R_a=0.42μm降至R_a=0.066μm。