微等离子体氧化法TiO、TiO(W)薄膜的制备及性能

来源 :第五届中国功能材料及其学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:annhongmay
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利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO<,2>、TiO<,2>(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结构组成的薄膜:单一TiO<,2>的锐钛型结构、单一TiO<,2>金红石结构及TiO<,2>(W)薄膜;同时对薄膜的催化特性进行了初步的研究.
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