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利用光力学效应设计研制了非制冷 MEMS 红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无 Si 衬底的非制冷 MEMS 红外成像焦平面阵列,分析了 FPA 热响应时间、NETD、像元的一致性等问题,与光学检测系统共同组成红外成像系统,成功得到了室温背景下人体的热像。
非制冷MEMS红外成像系统
【摘 要】
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利用光力学效应设计研制了非制冷 MEMS 红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无 Si 衬底的非制冷 MEMS 红外成像焦平面阵列,分析了 FPA 热响应时间、N
【机 构】
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中科院微电子研究所; 中国科学技术大学;
【发表日期】
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2004年期
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