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Modified Diamond-like Carbon Coatings-Preparation by PECVD and Applications for Anti-Adhesive Surfac
【机 构】
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Fraunhofer Institute for Surface Engineering and Thin Films IST,Bienroder Weg 54E,Braunschweig 38108
【出 处】
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The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年1期
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