【摘 要】
:
We explore the influence mechanism of target current and Ar flow on the structural and optical properties of the Al/Ti-DLC/DLC selective absorbing films. The tran mittance of the DLC (diamond-like car
【机 构】
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Beijing Key Laboratory of Material Utilization of Non-Metallic Mineral and Solid Waste, School of Ma
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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We explore the influence mechanism of target current and Ar flow on the structural and optical properties of the Al/Ti-DLC/DLC selective absorbing films. The tran mittance of the DLC (diamond-like carbon) antireflection layer is involved with the ratio of sp2-C/sp3-C and the surface roughness. A rise of the C-target current and Ar flow induces an initial increase and a decrease of the film tran mittance. The absorptance of the Ti-DLC (titanium-containing) layer has a relationship with the ratio of sp2-C/sp3-C. A rise of Ti-target current induces a gradual decrease of the content of sp3-C bonds in the absorbing layer. A further rise of the Ti-target current results in a decreased absorptance. Two effects of TiC grains in the Ti-DLC layer are (a) changing the C-C bond and increasing the ratio of sp2-C/sp3-C; (b) absorbing or scattering the incident light brings an enhanced absorption of Ti-DLC layer.
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