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铟镓锌氧化物(IGZO)是一种优良的可用于制作薄膜晶体管(TFT)的氧化物半导体材料,可用于制作大屏幕OLED的像素驱动电路.本论文利用SILVACO公司的仿真工具ATLAS,建立了IGZO TFT的器件物理仿真模型并对TFT性能进行了仿真研究.仿真结果,发现绝缘层厚度和绝缘层材料对TFT性能如阈值电压,迁移率等特性参数的影响较大,并揭示了其变化规律.并根据2T1C像素电路结构对TFT性能的不同要求对TFT进行了优化设计.