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飞秒激光具有极窄的脉宽和超高的峰值功率，加工过程对材料的热影响极小、加工阈值稳定以及加工材料范围广泛，特别适宜对超薄型材料进行超精细加工，因此采用飞秒激光对材料进行超精细钻孔、切割等加工领域具有独特的优势。是近年来快速发展起来的一种超短脉冲激光，并逐步在科研和工业领域得到了广泛的应用。
飞秒激光微加工技术发展及应用
【摘 要】
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飞秒激光具有极窄的脉宽和超高的峰值功率，加工过程对材料的热影响极小、加工阈值稳定以及加工材料范围广泛，特别适宜对超薄型材料进行超精细加工，因此采用飞秒激光对材料进行超
【机 构】
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北京控制工程研究所,北京100190
【出 处】
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2017航天先进制造技术国际研讨会
【发表日期】
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2017年6期
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