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该文介绍了关于硅栅ＣＭＯＳ深槽隔离技术的测试器件、电路、图形的版图设计研究。
深槽隔离技术测试电路版图设计研究
【摘 要】
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该文介绍了关于硅栅ＣＭＯＳ深槽隔离技术的测试器件、电路、图形的版图设计研究。
【机 构】
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工业总公司七七一所第六研究室
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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