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介绍了静电伺服微加速度计的基本组成、工作原理,详细分析了加速度计的稳定性与横向加速度、电容间隙、偏置电压的关系,指出当满足机械刚度大于偏置电压电刚度,同时偏置电压还应小于与横向加速度、电容间隙、反馈电压有关的一个临界电压时,微加速度计才能处于稳定状态.
静电伺服微加速度计稳定性设计技术
【摘 要】
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介绍了静电伺服微加速度计的基本组成、工作原理,详细分析了加速度计的稳定性与横向加速度、电容间隙、偏置电压的关系,指出当满足机械刚度大于偏置电压电刚度,同时偏置电压还应小于与横向加速度、电容间隙、反馈电压有关的一个临界电压时,微加速度计才能处于稳定状态.
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所,传感器研究中心(绵阳)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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