【摘 要】
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介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.重点阐述了RF MEMS研究中的关键技术以及RF MEMS的应用.结合国内外RF MEMS发展提出优化加工工艺,促进产业化进程.表明RF MEMS可用于无线通信、雷达天线和GPS卫星通讯等.
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系(北京)
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介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.重点阐述了RF MEMS研究中的关键技术以及RF MEMS的应用.结合国内外RF MEMS发展提出优化加工工艺,促进产业化进程.表明RF MEMS可用于无线通信、雷达天线和GPS卫星通讯等.
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阐述了半导体激光器有源层纳米尺度引起的量子效应,比较了体材料激光器与量子阱材料激光器的性能差异,说明了材料尺度缩小到一定的限度将带来器件特性的跃变.
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