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简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用,对几种典型光驱动方式进行了比较,对微机械转子模型进行了理论计算,分析了试验参数对驱动效率的影响.并对光聚合微机械器件的光驱动发展前景做出分析.
光镊技术在驱动微机械器件方面的应用
【摘 要】
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简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用,对几种典型光驱动方式进行了比较,对微机械转子模型进行了理论计算,分析
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)
【出 处】
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2003年中国机械工程学会年会
【发表日期】
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2003年期
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