论文部分内容阅读
<正>目前,微纳光学材料和器件技术领域的研究日新月异。集成光学器件技术、微纳加工技术、纳米材料技术及光学薄膜器件技术等学科的交叉和融合极大地推动了光电子技术研究的发展。在集成光学器件技术领域,光波导材料、器件研究和相应的应用研究均得到了长足的进步。在材料研究方面,从传统的二氧化硅、玻璃基材料,逐渐发展到半导体晶体材料和有机聚合物材料等新材料研究;在波导结构方面,从传统的