论文部分内容阅读
薄膜体声波谐振器是GHz频段的“晶体谐振器”，可用来构成射频前端的滤波器、双工器以及低相噪的射频振荡器等，在现代通讯系统中具有很大的应用前景。本文采用MEMS技术制备了基于ZnO压电薄膜的射频薄膜体声波谐振器，其谐振频率达到2.17GHz，Q值达到972，而体积小于1mm3，可望应用于高性能的射频振荡源中。