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本文以乙炔化学气相沉积碳纳米管反应过程为应用背景，利用软测量技术，根据反应机理建立数学模型，采用常规仪表成功实现了碳纳米管产量和沉积速率的在线连续检测。测试结果表明，该软测量模型可以准确的预估碳纳米管的实时生长速率，整个检测系统具有精度高、硬件设备简单、操作维护方便的优点，并易于放大生产。
基于软测量技术的乙炔化学气相沉积碳纳米管沉积速率的在线检测
【摘 要】
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本文以乙炔化学气相沉积碳纳米管反应过程为应用背景，利用软测量技术，根据反应机理建立数学模型，采用常规仪表成功实现了碳纳米管产量和沉积速率的在线连续检测。测试结果表
【机 构】
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北京航空制造工程研究所,高能束流加工技术重点实验室,北京,100024
【出 处】
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2014国际高能束与特种能场制造暨第五届高能束流加工技术国际学术会议
【发表日期】
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2014年期
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