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光谱响应度和量子效率是光电探测器的重要参数.在研制大面积PIN二极管光电探测器过程中,需要及时测试,以调整工艺.对比对法测量探测器的量子效率是有一种实用有效的方法.本文介绍了PIN光探测器量子效率的测试方法及结果.
PIN二极管探测器的光电参数—量子效率的比对测量
【摘 要】
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光谱响应度和量子效率是光电探测器的重要参数.在研制大面积PIN二极管光电探测器过程中,需要及时测试,以调整工艺.对比对法测量探测器的量子效率是有一种实用有效的方法.本文介绍了PIN光探测器量子效率的测试方法及结果.
【机 构】
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北京大学微电子所 北京大学物理系
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年6期
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