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本文研究了钝化发射极背面局域扩散结构(PERL)的单晶硅太阳电池.通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氧化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池.对比了不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧结条件对单晶PERL电池电性能的影响,经优化后单晶电池转换效率达到了20.36%.