【摘 要】
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本实验选用氮化铝(AlN)陶瓷片作为载体,经过自配清洗溶剂及酒精,丙酮,去离子水进行超声波清洗,再采用电子束及电阻复合真空蒸发法在载体表面镀覆金层及金锡合金层,并对合金层
【机 构】
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广东风华高新科技股份有限公司,广东肇庆526000
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本实验选用氮化铝(AlN)陶瓷片作为载体,经过自配清洗溶剂及酒精,丙酮,去离子水进行超声波清洗,再采用电子束及电阻复合真空蒸发法在载体表面镀覆金层及金锡合金层,并对合金层进行光刻图形化,制作成具有一定图案的热沉样品.最后经过各种检测,其检测结果表明,所制备的样品在导热性能,结合力,表面情况等,均达到预期的目的.
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