【摘 要】
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采用超高真空热丝化学气相沉积（HFCVD）系统，以甲烷和氢气为反应气体，在高速钢W18Cr4V基体上利用三种不同的过渡层（WC、Cr、WC/Cr）制备金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜(FE
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院，湖南长沙 410083
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采用超高真空热丝化学气相沉积（HFCVD）系统，以甲烷和氢气为反应气体，在高速钢W18Cr4V基体上利用三种不同的过渡层（WC、Cr、WC/Cr）制备金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微激光拉曼光谱仪（Raman）以及洛氏硬度计对过渡层和金刚石薄膜进行检测分析，研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响。结果表明，三种过渡层均可以有效减少钢基中Fe对金刚石薄膜的负面影响，提高金刚石的形核率；其中，采用WC/Cr过渡层时膜基间残余应力最小，仅为0.25Gpa，附着性能最好。
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