【摘 要】
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本文系统研究了扩散时间、N2流量对硼盐酸扩散的影响.不同扩散时间的实验表明,使用这种方法对n型硅片进行扩散,只需要通过调节扩散的时间即可得到不同方块电阻的结;调节N2流
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京100029
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本文系统研究了扩散时间、N2流量对硼盐酸扩散的影响.不同扩散时间的实验表明,使用这种方法对n型硅片进行扩散,只需要通过调节扩散的时间即可得到不同方块电阻的结;调节N2流量的实验表明,在较大N2流量范围内,通过这种方法得到的结的方块电阻均匀性都较为理想.以上结果证明了这种扩散制结的方法是一种简单有效的扩散方法,对设备和工艺条件的要求都比较低,这对于降低电池的成本具有一定的意义.结果表明,用这种扩散方法制备的n型电池发射极的方块电阻的偏差在4.2Ω/□以内,这一结果表明了这种扩散方法太阳电池生产中具有应用潜力.本文通过系统的实验,为这种扩散方法的实际应用奠定了基础.
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