【摘 要】
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本文研究了光致抗蚀剂乳化废水的预处理工艺.用硫酸和含钙辅助剂破乳分离出有机物沉淀,确定了量合适的预处理工艺参数和流程;用GC/MS法分析了废水的组成和浓度,并探讨了有机
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本文研究了光致抗蚀剂乳化废水的预处理工艺.用硫酸和含钙辅助剂破乳分离出有机物沉淀,确定了量合适的预处理工艺参数和流程;用GC/MS法分析了废水的组成和浓度,并探讨了有机物的去除机理.试验结果表明,pH值控制在3,辅助剂A的浓度为300.0mg/L,静置时间为60min时,是最合适的工艺条件,废水的COD<,Cr>值从15 600.0mg/L下降到3 542.0mg/L,COD的去除率达77.4℅,投加辅助剂后既提高了有机物的去除率,又改善了沉淀物的过滤性能,从而有利于降低后续工艺的处理成本.
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