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＜１００＞磷化铟单晶片的溴－－甲醇抛光：Ⅱ实验参数对抛光片表面质量的影响
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议
【发表日期】
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1993年期
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