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本文介绍电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析.讨论了驱动电压的大小和频率、系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系.
阶梯悬臂梁式微机械隧道陀螺的计算机仿真
【摘 要】
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本文介绍电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分
【机 构】
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厦门理工学院机械系,厦门,361005
【出 处】
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2004年中国机械工程学会学术年会
【发表日期】
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2004年期
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