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本文采用K-L函数法模拟大气湍流波前,提出用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从逼近误差、Strehl比、放置角度三个方面对四种单元排列方式不同的微变形镜的波前校正性能进行了比较,结果表明极坐标排列方式的微变形镜在各性能方面都比较优越.最后结论可为自适应光学系统MEMS微变形镜的设计提供参考.
分立式微变形镜的单元排列方式对其性能的影响
【摘 要】
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本文采用K-L函数法模拟大气湍流波前,提出用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从逼近误差、Strehl比、放置角度三个方面对四种单元排列方式不同的微变形镜的波前校正性能进
【机 构】
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西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072
【出 处】
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2004年中国机械工程学会学术年会
【发表日期】
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2004年期
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