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本文研究了在聚酰亚胺柔性衬底上采用等离子体增强化学气相沉积法制备非晶硅基薄膜太阳电池。在稳定各层材料沉积工艺的条件下,仅调整I/P 界面的处理方式,研究其对太阳电池性能的影响。实验表明,合理的界面处理方式,可以使太阳电池的填充因子显著增大,从而提高太阳电池的光电转换效率。