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Development and Application of Cathodic Vacuum Arc Plasma for Nano-Surface Modification
【机 构】
:
Plasma&BeamPhysicsResearchFacility,DepartmentofPhysicsandMaterialsScience,FacultyofScience,ChiangMai
【出 处】
:
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
:
2011年9期
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