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本文重点介绍微光刻技术图形数据处理及数据转换体系.包括微光刻技术需要处理的图形数据类型,常用的图形数据处理及图形编辑软件,特殊图形数据处理技术,常用的图形数据格式及数据格式转换技术.
微光刻苦技术数据处理及数据转换体系
【摘 要】
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本文重点介绍微光刻技术图形数据处理及数据转换体系.包括微光刻技术需要处理的图形数据类型,常用的图形数据处理及图形编辑软件,特殊图形数据处理技术,常用的图形数据格式及数据格式转换技术.
【机 构】
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中国科学院微电子中心
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年6期
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