重掺硅相关论文
本文研究重掺硅中氧的测定,实验首先选用轻掺(ρ＞10Ω·CM)样品分别用氧体熔化分析法(GFA法,LECO RO-416测氧仪)和付立叶变换红外法......
本文研究重掺硅中氧的测定,实验首先选用轻掺(ρ＞10Ω·CM)样品分别用氧体熔化分析法(GFA法,LECO RO-416测氧仪)和付立叶变换红外法......
该文报道了一种改进该征吸末技术－低温短热退火工艺。以增强该征吸杂效果。在该征吸杂工艺的低温热退火中，用连续的线性缓慢升温（Ｒａｍｐｉｎｇ）退火......
为研究重掺杂硅单晶中氧的行为，克服由于强烈自由载流子吸收的干扰所造成的红外测氧困难，该文首次采用低温４．２Ｋ、超薄样品的傅立叶变换红......
对国内外在重掺硅中氧沉淀方面的研究做了综合阐述,对氧沉淀研究现状和存在问题进行了讨论,同时就热处理,掺杂剂对氧沉淀的影响做......
利用一台高能脉冲激光器和一个光纤耦合的CCD光谱仪构建了激光诱导击穿光谱仪（LIBS），并用它测量了重掺硅片中的氧含量．硅中的氧含量通......
本文以能量为２７ＭｅＶ的＾１２Ｃ做为入射粒子束，采用符合法弹性前冲（ＣＥＲＤＡ）定量测量了重掺锑硅中氧含量，证明重掺锑硅中氧含量较普通直拉硅要低约４０％，且随着锑含......
本文首次报道了一种新颖的重掺硅中间隙氧含量测量技术，通过硅片减薄并采用低温红外透射测量，明显降低了重掺硅自由载流子吸收的严重......
