光学零件纳米精度加工技术

来源 :2014全国第十届精密工程学术研讨会(PES10`14) | 被引量 : 0次 | 上传用户:jikexue
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  报告介绍了国防科技大学精密工程研究室近十多年的研究进展。首先介绍超精密加工的运用背景、超精密加工的定义和分类。在超精密切削加工机床与工艺技术方面,介绍了我们研制的单点金刚石车床和我们研发的压电陶瓷快刀伺服系统技术(FTS),大行程刀具伺服装置(声圈电机快轴伺服系统技术),慢刀伺服(STS)加工技术及运用实例。在超精密研抛加工车床与技术研究方面,报告介绍了我们研制的CCOS,磁流变(MRF)、离子束(IBF)机床。针对应用于非球面,自由曲面加工中的技术,我们提出第三代基于新原理柔性研抛加工——可控柔体(CTT)加工的研究框架,弃简要介绍了基于研磨盘弹性变形的大镜柔性加工—应力盘(LP)技术;基于流体动力+化学作用的弹性发射(EMM);基于磁场力+流体动力的磁流变(MRF)技术;基于离子溅射碰撞动能的离子束(IBF)技术;基于纯化学作用的大气等离子(PLASMA)技术的基本原理、特性和运用实例。
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