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文章在分析加热器对热光开关阵列可靠性的影响的基础上提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5％的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16SOI热光开关阵列的可靠性从34.99％提高到92.30％.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列输入输出端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16×16SOI热光开关阵列.