【摘 要】
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在MEMS工艺研制的无阀型微泵结构中,多采用矩形截面的微扩散/收缩管.本文运用Intellisuite软件中的Microfludic模块,在低雷诺数Re(＜1900)下对微扩散/收缩管中微流体进行了静态分析.给出了扩散/收缩管的开口角度在小角度变化时,扩散效率在不同压强差区域的变化规律,及过渡点压强差值与开口角度的关系.同时也给出了在只改变长度的情况下不同压强差区域扩散效率的变化趋势,并且得出在不
【机 构】
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黑龙江大学,集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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在MEMS工艺研制的无阀型微泵结构中,多采用矩形截面的微扩散/收缩管.本文运用Intellisuite软件中的Microfludic模块,在低雷诺数Re(＜1900)下对微扩散/收缩管中微流体进行了静态分析.给出了扩散/收缩管的开口角度在小角度变化时,扩散效率在不同压强差区域的变化规律,及过渡点压强差值与开口角度的关系.同时也给出了在只改变长度的情况下不同压强差区域扩散效率的变化趋势,并且得出在不同压强差区域长度对扩散效率的影响.
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