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钨单晶上AlN单晶生长研究
钨单晶上AlN单晶生长研究
来源 :第17届全国晶体生长与材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiujunzhang
【摘 要】
:
AlN是直接带隙的超宽禁带半导体材料,具有非常大的禁带宽度(6.2eV)、极高的击穿场强和热导率、优良的热稳定性和耐腐蚀性、良好的光学及力学性能,是制作AlGaN深紫外光电子
【作 者】
:
张丽
【机 构】
:
电子集团46所
【出 处】
:
第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
:
2015年期
【关键词】
:
钨单晶
AlN
宽禁带半导体材料
光电子器件
直接带隙
热稳定性
耐腐蚀性
力学性能
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AlN是直接带隙的超宽禁带半导体材料,具有非常大的禁带宽度(6.2eV)、极高的击穿场强和热导率、优良的热稳定性和耐腐蚀性、良好的光学及力学性能,是制作AlGaN深紫外光电子器件的最佳衬底材料.
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