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本文对相同工艺制作但基区掺杂浓度不同的国产NPN双极晶体管,在不同剂量率条件下进行60Coγ辐照效应和退火特性研究。结果显示,晶体管基区掺杂浓度不同,对高、低剂量率的辐照响应也不相同,低基区掺杂浓度的晶体管辐照损伤明显高于高基区掺杂浓度的晶体管。
不同基区掺杂浓度NPN双极晶体管电离辐照效应
【摘 要】
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本文对相同工艺制作但基区掺杂浓度不同的国产NPN双极晶体管,在不同剂量率条件下进行60Coγ辐照效应和退火特性研究。结果显示,晶体管基区掺杂浓度不同,对高、低剂量率的辐照
【机 构】
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中国科学院,新疆理化技术研究所,新疆,乌鲁木齐,830011
【出 处】
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第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会
【发表日期】
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2010年期
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