【摘 要】
：
纳米SnO2材料由于具有很高的晶界密度及很大的比表面积从而有非常好的气敏特性.本研究采用溶胶-凝胶法可以在普通玻璃、硅片及石英等多种衬底材料上制备成薄膜.由于衬底形状可多样,易掺杂,成本低,容易实现气敏元件的集成化,提高元件的气敏特性.本文阐述的用溶胶-凝胶法制备SnO2薄膜研究,采用SnCl2为原料,乙醇为溶剂,HCl为催化物.研究发现,制备的薄膜为非晶体结构.经热处理后,形成四方相的金红石结构
【机 构】
：
兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;甘肃省科学院传感技术研究所,甘肃,兰州,730000
【出 处】
：
第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
纳米SnO2材料由于具有很高的晶界密度及很大的比表面积从而有非常好的气敏特性.本研究采用溶胶-凝胶法可以在普通玻璃、硅片及石英等多种衬底材料上制备成薄膜.由于衬底形状可多样,易掺杂,成本低,容易实现气敏元件的集成化,提高元件的气敏特性.本文阐述的用溶胶-凝胶法制备SnO2薄膜研究,采用SnCl2为原料,乙醇为溶剂,HCl为催化物.研究发现,制备的薄膜为非晶体结构.经热处理后,形成四方相的金红石结构.通过X射线衍射谱,扫描电子显微镜对样品的结构分析表明,随着退火温度的升高,薄膜的结晶程度逐渐提高、粒径逐渐增大;在溶剂中加入表面活性剂聚乙二醇后可以使薄膜表面形貌得到明显改善,晶粒分布变窄,空隙率大大增加,成为一种多孔结构.由于具备更大的比表面积.因而气敏特性会得到进一步改善.
其他文献
本文研究浏览器对远程嵌入式Web传感器的数据采集方法及如何实现的问题.文中提出将JavaApplet和CGI技术相结合,以实现测量数据的实时更新;利用JavaApplet数字签名技术,以实现测量数据本地保存.本方法适应嵌入式系统要求,代码精简、实时性强、安全性高.
本文研究了用DFT(离散付利叶变换)实现科氏质量流量计的相位检测.具体分析了非整周期采样引起的相位计算误差随时间的表现形式,提出了如何选取采样点数才能使计算DFT的点数接近整周期,并实现频率跟踪.
本文对微电容测量技术进行了分析和研究,阐述了影响测量精度的主要因素.介绍了一种本实验室开发的集成湿度传感器,它实现了湿敏电容和接口电路在一块芯片上的集成.重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现电容值与频率值的转换.作者对于流水样片进行了测试,测量范围在相对湿度20﹪～90﹪,电容值与湿度值近似为线性关系,但是输出波形的占空比与理论值有较大的偏差.通过分析,给出了测试结果发生偏差的原因.
本文设计了一种用于CMOS集成温度传感器二次非线性项修正的曲率校正电路,该电路有效解决了CMOS温度传感电路中电阻温度系数和PN结电压二次非线性项对输出线性度的影响.分析了该曲率校正电路的理论原理,提出了相应的电路实现方法,仿真结果表明校正前后温度误差下降了0.5℃.应用了该校正电路的CMOS温度传感系统已在0.6μm标准CMOS工艺中研制实现,实验结果表明在-20℃～+120℃的温度范围内该温度
本文介绍了一种电涡流传感器在工业生产中的应用实例.主要介绍该厚度检测仪的工作原理,并对振荡电路、调零电路等电路进行分析.目前,该仪器已成功应用于自动装订机生产线.
常规制作的硅磁敏二极管多为分立器件,只能进行单点磁场测量且温度特性较差.针对上述问题,本文设计了一种单片式磁敏二极管阵列,其中磁敏感单元为两个结构相同且位置对称的磁敏二极管组成的差分结构,磁敏二极管仅有一个高复合表面且制作在侧面.该阵列不仅能够检测垂直于阵列表面方向的磁场,而且具有温度自补偿、高灵敏度及高可靠性等优点,其适用于设计的新型柔性触觉传感器中.
本论文的目的是测定纳米硅粉中的多数载流子浓度,主要从两种手段进行研究.一种是通过测量微纳米硅粉压片的红外反射谱,利用等离子共振极小点的方法测定半导体多数载流子的浓度;另一种方法是通过测量压片前硅片电阻率推算出多数载流子浓度.我们已通过试验证明两种测试方法的结果是一致的,这样对于其他未知杂质浓度的纳米硅粉就可以通过测量红外光谱极小点来推算出多数载流子浓度.
本文提出了采用单纳米晶环形磁芯双绕组结构,多谐振荡桥励磁,可非接触检测微弱电流的新型传感器.通过建立理想化的磁滞回线模型,从理论上给出了传感器的工作原理,得到了传感器输出电压与待测电流间的解析关系.系统地分析了桥路元件参数、绕组参数、桥路电源及磁参数对传感器性能的影响.为该新型传感器建立的理论与实验结果在传感器的线性量程范围内很好地吻合.该传感器可应用于电力系统及电气设备微弱漏电流检测.
本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.
本文介绍了SAW陀螺的基本原理以及输出电压公式,SAW陀螺以驻波振动为基准,通过哥氏力在垂直方向产生的SAW测量角速度,它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点.在此基础上,研究了SAW惯性导航系统的基本原理框架,并给出单自由度SAW陀螺的具体配置方案.应用联合卡尔曼滤波及数据融合来处理SAW测量的角速度,提高系统的测量精度,同时应用六陀螺多